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  • 产品名称：TOKYO KEISO东京计装流量计

  • 产品型号：TC-2000
  • 产品厂商：TOKYO KEISO东京计装
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详情介绍：

TOKYO KEISO东京计装 TC-2000流量计

TC-1000/2000 是一款质量流量控制器，它结合了气体热式质量流量计和控制阀。 有用于一般用途的 TC-1000 和用于高压的 TC-2000。 不受压力和温度变化影响的质量流量测量，可以高精度控制各种气体的流量。


特征

  • · 确保各种气体的恒定流速
  • · 两种气体与质量流量计组合的比例混合
  • · 各种半导体制造工艺
  • · 适用于各种分析仪器
  • · 腐蚀性气体管路的流量控制
  • · 用于新材料和器件的研究和开发

主要技术指标

TC-1000 通用 高压TC-2000
测量对象 一般气体
口径 1/4、3/8、1/2、3/4、1
流量范围 *大 300 ~ 500L/min （nor），
*小 5mL ~ 10L/min（nor） 		*大 20 ~ 100L/min （nor），
*小 50mL ~ 10L/min（nor）
流体温度 5 ~ 50 °C
流体压力 0.99 MPa 以下 *大 10 MPa
过程连接 RC螺丝，SW，VCR，VCO等 RC螺钉，NPT，SW
测量精度 ±1% F.S. （25°C标准）


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