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  • 产品名称：TOKYO KEISO东京计装超声波流量计

  • 产品型号：UCUF-02M
  • 产品厂商：TOKYO KEISO东京计装
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详情介绍：

TOKYO KEISO东京计装 UCUF-02M超声波流量计

UCUF-02M/SFC-010L是一款液体用超声波流量计。 可高精度测量纯水、超纯水、各种化学液体的微小流量。 测量管的直径为2.5 mm，涵盖了传统UCUF超声波流量计难以测量的宽范围的微小流量。 半导体行业用的所有接液部件均采用PFA制成，无活动部件，无易积液的密封件，具有理想的清洁结构，非常适合半导体制造设备等需要清洁度的工艺。 流量计的入口和出口是标准尺寸的管子，可以连接到各种PFA配件。


特征

  • · 该小口径超声波流量计成功地测量了内径
    φ2.5mm管道中的超声波传播，这是测量超声波传播困难的。
  • · 微流速
    的*小满量程设定范围：0 ~ 10 mL/min
  • · EMC标准：EN61326-1
  • · 符合 RoHS 规范
  • · 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
  • · 理想的清洁结构检测仪
  • · 耐腐蚀，易于安装
  • · 精度：读数值的±1%以内（流速25mL/min以上）

主要应用

  • · 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
  • · 各种化学品注入工艺的流量测量
  • · 高腐蚀性液体的流量测量
  • · CMP浆料流量测量
  • · 其他，小口径~中口径工艺液体流量测量
  • · 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制

主要技术指标

探测器规格

测量对象 一般液体（无气泡液体和不渗透或侵蚀它们的 PFA）
口径 1/4"
流量范围 *大 0 ~ 100 mL/min *小 0 ~ 10 mL/min * 满量程设置为 10 mL/min

步骤
流体温度 10 ~ 90°C
流体压力 0 ~ 0.5 兆帕
过程连接 PFA 管端
测量精度 ±1% RD（25mL/min以上） ±0.25 mL/min（小于 25mL/min）

* 但是，当 20°C 的水流动时


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