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  • 产品名称：TOKYO KEISO东京计装吹扫仪

  • 产品型号：P-820
  • 产品厂商：TOKYO KEISO东京计装
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详情介绍：

TOKYO KEISO东京计装 P-820吹扫仪

与P-810一样，它广泛用于各种半导体器件。 我们还生产带报警触点的开关类型。


主要应用

用于半导体制造设备

标准规格

测量对象
一般气体、液体（当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）
口径 RC ： 1/4“ （标准）， 1/8” NPT ： 1/4“， 1/8” SW ： 1/4“， 3/8” VCR ： 1/4“， 3/8”
流量范围 空气
P-821型 ：
*小值：0.5 ~ 5 mL/min（nor） *大值：12 ~ 60 L/min（nor）
P-823型 ：
*小值：5 ~ 50 mL/min（nor） *大值：6 ~ 60 L/min（nor）

水
P-821型 ：
*小值：5 ~ 50 mL/min *大值：0.4 ~ 2 L/min
P-823型 ：
*小值：5 ~ 50 mL/min *大值：0.2 ~ 2 L/min

・流量范围的转换方法请参考P型功能及选型（TG-S0001）。
流体温度 *高 120°C （取决于包装材料）
流体压力 0.8 MPa 以下
测量精度 P-823 : ±3% F.S.
P-821 : ±5% F.S.


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