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产品详情
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  • 产品名称:HORIBA堀场同步辐射光栅

  • 产品型号:Lamellar
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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详情介绍:

HORIBA堀场同步辐射、FEL 和 EUV 光栅Lamellar



全息Lamellar光栅

HORIBA Scientific 全息Lamellar光栅具有超低的刻线粗糙度和独特的效率均匀性,使其成为同步辐射光源、自由电子激光器 (FEL)EUV 或软 X 射线光源的理想选择。

全息和离子刻蚀工艺使我们能够定制刻槽形状和分布,使其具有:

  • 等线距或可变线距 (VLS)

  • 等线距或可变刻槽深度 (VGD)

  • 刻线密度:高达4000gr/mm

  • 尺寸:*大500mm

  • 基材:硅、熔融石英

  • 基板形状:平面、球形、圆柱形、环形

  • VLS 或等线距

  • 具有可变刻槽深度 (VGD) 的效率可调性

  • 面型误差 ~0.1µrad RMS 的高质量基板

  • 超低凹槽粗糙度:~0.2nm RMS

  • 镀膜:Au、Ni、Pt(其他镀膜应要求提供)

 


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