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  • 产品名称：HORIBA堀场蒸汽浓度控制器

  • 产品型号：VCC-100
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场蒸汽浓度控制器VCC-100


蒸汽浓度控制器

液体和固体的气体输送方法之一就是鼓泡法。鼓泡法广泛应用于化学气相沉积制程。通过应用 NDIR 技术和 HORIBA 开发已久的阀门技术，VCC-100 可以在鼓泡器下游保持恒定的浓度，以满足先进制程控制时代的行业要求。

点击此处 查看 HORIBA's Chemical Concentration Control methods.

事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

易安装

  • 只需将现有压力控制器更换为 VCC-100

 

占地空间小

  • 除压力控制器外，长度仅 50 mm

 

易用

  • 只需设定目标浓度
  • 无需连接到其他组件（例如，质量流量控制器）

 

2 种控制模式

  • 浓度控制：VCC-100 可用作浓度控制器
  • 压力控制：VCC-100 可用作提供浓度输出的压力控制器


型号VCC-110 VCC-120

电池长度5mm 50mm

目标化学品TMGa、DEZn、IPA TMIn、TMIn、TEGa、TMGa，TMAI、DEZn和IPA

目标流速0.3-10 SLM

工作压力30-300 kPa

电池温度60摄氏度

安装1/4 VCR外螺纹

模拟/数字通信设备网

功率要求

+/-15伏直流电（模拟/数字）

24伏直流电（设备网）

加热器电源200-240伏交流电

尺寸155 x 59 x 140毫米

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