日本ULVAC爱发科SH200-A电离真空计

新系列传感器型“G-RTAN 系列多重电离真空计”，可连接不同类型的传感器头。
该产品是 B-A 型电离真空计，可以测量超高真空。
改进为更加用户友好，取代了宽范围测量和低运行成本的概念。

特点：
● 爱发科自己的理念：能够根据应用连接不同测量范围的传感器头。
● 紧凑：与以前的系列相比，显著小型化（控制器体积减少 56%）。世界上*小的级别。
● 高可用性：通过连接 PC/Android 设置设定点、条件检查等。
● 更多选择：除了模拟输出规格和串行通信规格外，还提供 EtherCAT 规格。
● 灯丝寿命通知功能：通过监视电量，可以在电离真空计寿命之前进行提前警告。
● 宽测量范围：从大气压到超高真空 （1 x 10+5至 5 x 10-8Pa） 的 （与可选单元 SWU10-R 一起使用时）。
● **的大气压力感应：可提供腔室打开时的大气压力检查（与可选装置 SAU 一起使用时）。

应用：
● 半导体或电气设备真空设备的高真空范围内的过程控制。
● 用于具有许多工艺腔室的在线或间歇式真空设备的**压力检查。
● 高真空或超高真空设备的压力测量。

规格：
型号：SH200-A 类型：模拟输出类型
型号：SH200-R 类型：串行通信类型
适用的电离计传感器头：M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
可连接的传感器：
多电离计 SH200：1
个皮拉尼真空计传感器单元 SWU10-R：1 个（可选）
压力感应单元 SAU：1 个（可选）
重复性(N2)：SH200 简单模式：±2%
采样时间：60 毫秒，5 倍移动平均线
值输出：
输出电压：0 至 10 VDC，LOG 输出：0.75 V/1 十进制
压力转换方程：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新时间：60 毫秒
控制输入信号：FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF带集电极开路输入、负逻辑
控制输出信号：
传感器误差，设定点 1/2/3，发射有效
灯丝
功率观察 额定值：24VMAX、50mAMAX
饱和电压：1V
通信类型：RS232C/RS-485 接口
LED显示屏：电源：电源、错误 LED（闪烁模式和颜色变化取决于每种模式）
发射电流：1mA （1×10-3Pa 或更低）、10μA （1×10-3Pa 或更高）
脱气法：电子轰击型 1mA，330V
传感器的*大压力：2×10+5Pa （1.5 x 10+3托，2 x 10+3mbar）（**压力）
*需要单独的措施作为抵抗压力的能力，例如法兰和卡箍
传感器内部容积：17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46）
工作温度范围：10 至 50°C
工作湿度范围：15 至 80%（非冷凝）
储存温度：-20 至 65°C(非通电、非冷凝)
IP 等级：IP30 防护等级
电源电压：DC20 至 28V（纹波、噪声 1% 或更低）低于 8W
输入/输出连接器：D-sub15 针（M2.6 螺丝）
重量：传感器单元：约 280g，传感器头 （M-44/45）：80g，（M-46）：300g
尺寸：69(宽)×63(深)×90(高) mm（仅传感器单元）
适用标准：CE

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