中崎销售工程师今日介绍HORIBA堀场自动供液系统LU-4000

HORIBA堀场 自动供液系统LU-4000 

POCl3 自动供液系统
HORIBA 屡获殊荣的液体输送系统（LU-4000 系列）通过开发一种系统，将 20 升 ETFE 内衬不锈钢罐中的散装液体 POCl3 自动输送到多个固定塑料鼓泡装置，改变了 POCl3 的扩散过程。
LU-4000 系列和 VM 系列用于 n 型扩散层作为制造晶体硅基太阳能电池的掺杂剂。
该系统还可用于 BBr3 的扩散制程，提高制程稳定性，增加正常运行时间，减少物流和人工成本，提高**性。
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制系统
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
概要
配置
应用
提高产能
VM 系列（蒸气输送模块）无需使用传统的石英鼓泡器更换，*大限度地减少了停机时间，有效提高产能
降低运营成本
LU-4000 系列可减少 POCl3 消耗：每公斤价格降低 30%
连续生产确保正常运行时间超过 99.8%
减少 POCl3 浪费
工艺流程无需暴露于周围环境，确保更长使用寿命和更低维护成本
采用 20L 液罐输送，降低了物流、储存和搬运成本
更少的 POCl3 更换和空瓶回收降低了人工成本
提高工艺稳定性
VM 系列将液位保持在“高”位，相比传统石英鼓泡器吸液率更稳定
由于鼓泡器的持续注入，液位将不会受到影响
无需更换鼓泡器，避免操作失误
不受环境温度波动的影响薄层电阻相较传统鼓泡器更稳定，提高了可重复性和再现性
提升**性
无石英材料。VM 系列采用 PFA 材料制造，比石英材料更坚固，且无需搬运、更换或填充石英起泡器。由于无需定期更换部件，减少人了工操作失误。
POCl3 通过 20L ETFE 内衬的不锈钢容器输送至 PFA 管路。
坚固、防漏的鼓泡器外壳带有氮气保护层，并连接至设备排气端
集成液体泄漏和气体泄漏检测
管路吹扫与自动泄露检测
提高可靠性
POCl3 是一种亲水性强、可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体，常规的鼓泡器需要定期更换，导致与空气接触的可能性增加HORIBA POCl3 自动供液系统无需更换鼓泡器，有效降低了 POCl3 管路与空气接触的可能性。

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