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产品详情
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  • 产品名称：KONSEI近藤液晶卡爪

  • 产品型号：WHA-200AS
  • 产品厂商：KONSEI近藤
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详情介绍：

可根据用户的需求规格设计并定制，相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具，不会与内外面接触。€‚


■固定、搬运。

采用夹紧搬运方式，可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。

■不会接触晶片内外面。

只接触边缘部分，不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。

■适用于1级洁净室。

■WHA系列

只设侧臂的单侧驱动式边缘夹具。

规格

型号 WHA-200AS WHA-300AS WHA-450AS
搬运工件 晶片
工件尺寸 φ200 φ300 φ450
搬运方式 边缘夹具
搬运数量  1片
驱动方式 闭合方向 弹簧（夹具方式）
开启方向  真空压力-60KPa ~ 95KPa(采用负压气缸)
工作行程 10mm（夹7mm 钳3mm）
抓力  ２．４Ｎ ～１．９Ｎ  约7N
洁净度  FED规格 1级（需吸附）
牙叉（fork）材质 CFRP
紧固件・挡片・垫板  PEEK
主体质量  约0.4kg 约0.5kg 约1.7kg
选项  开闭确认传感器

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