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  • 产品名称：TOKYO KEISO东京计装超声波流量计

  • 产品型号：UCUF-06E
  • 产品厂商：TOKYO KEISO东京计装
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详情介绍：

TOKYO KEISO东京计装 UCUF-06E超声波流量计

UCUF-E系列液体用超声波流量计是专为测量超纯水和各种化学液体的小流量而设计的流量计，由UCUF-E型检测器和SFC型换能器组成。
UCUF探测器的接液部分全部由半导体工业用PFA制成，没有运动部件，也没有容易积液的O型圈等机械密封
。 由于其理想的洁净结构，它是半导体设备等需要高度洁净度的过程的理想流量计。
SFC传感器显著降低了对流体中气泡的影响，这在半导体工艺和化学工艺中一直是一个问题。 为了响应各种化学溶液，它配备了校正功能，可以消除流体动力学和粘度的影响。 通过RS485通信实现集中式过程管理。 


特征

  • · EMC标准：EN61326-1：2013/EN61326-2-3：2013
  • · 符合 RoHS 规范
  • · 带连接器结构的可拆卸传感器电缆
  • · 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
  • · 精度在读数值的 ±1% 以内（流速大于 1 m/s 时）
  • · 宽范围（典型值为 100：1）
  • · 理想的清洁结构检测仪
  • · 耐腐蚀，易于安装

主要应用

  • · 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
  • · 各种化学品注入工艺的流量测量
  • · 高腐蚀性液体的流量测量
  • · CMP浆料流量测量
  • · 其他、小~中口径工艺液体流量测量
  • · 适用于清洗设备和CMP设备的流量测量和控制

主要技术指标

探测器规格

测量对象 所有液体（不含气泡的液体，混合物必须均匀溶解）
口径 04E：4mm、06E：6mm
流量范围
04E：
0 ~ 3000mL/min （*大） 0 ~ 50mL/min （*小）
06E：
0 ~ 8000mL/min （*大） 0 ~ 400mL/min （*小）
流体温度 +10 ~ 60°摄氏度
流体压力 0~0.5MPa
过程连接 PFA 管端
测量精度
04E：
读数的 ±1% （>800 mL/min），±
8 mL/min （>800 mL/min）
06E：
读数的 ±1% （>1700 mL/min），±
17 mL/min （>1700 mL/min）


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