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产品详情
  • 产品名称:TOKYO KEISO东京计装吹扫仪

  • 产品型号:P-771
  • 产品厂商:TOKYO KEISO东京计装
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  • 折扣价格:0
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详情介绍:

TOKYO KEISO东京计装 P-771吹扫仪

全氟聚合物,超洁净吹扫流量计。 不仅从接液部件中消除金属,而且从机械部件中消除金属,防止大气中生锈和其他物质的发生。 所有PFA均模制并直接连接到管子上。 适用于测量纯水、超纯水、化学液体等半导体制造工艺中液体的流速。


主要应用

用于半导体生产线中的超纯水和化学品

标准规格

测量对象 一般液体
口径 管端接头:φ6.35×t1(标准),φ6×t1,φ8×t1 支柱接头(Super 300型):φ6×t1用于卡套管连接,φ8×t1
用于卡套管连接 RC
: 1/8”
流量范围
水:
*小 3 ~ 15 mL/min *大 0.2 ~ 2 L/min
・流量范围的转换方法请参考P型功能和选择(TG-S0001)
・选择流量刻度时,请参阅标准流量表。
流体温度 *高 60°C
流体压力 0.5MPa以下
过程连接 管端配件,支柱配件,Rc
测量精度 ±5% 满量程

*高流体温度是一般数据,可能因操作条件和环境而异。


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