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  • 产品名称：HORIBA堀场 LabRAM奥德赛半导体

  • 产品型号：LabRAM Odyssey
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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HORIBA堀场 LabRAM奥德赛半导体

光致发光和拉曼晶片成像

LabRAM Odyssey半导体显微镜是在直径达300mm的晶片上进行光致发光和拉曼成像的理想工具。HORIBA*畅销的真共焦显微镜配备了自动化300mm样品台和物镜转台，以满足晶圆均匀性评估和缺陷检查的需求。

事业部: 科学仪器

产品分类: 拉曼光谱仪

制造商: HORIBA法国有限公司


LabRAM Odyssey Semiconductor包括专为半导体分析设计的硬件和软件：

带自动转台和样品台的晶圆映射

自动300 mm×300 mm XY样品台可接受直径不超过300 mm（12“）的晶片，用于全晶片和感兴趣的小区域（ROI）的拉曼和光致发光映射。该台的移动速度及其稳定性确保了对散布在晶片表面的ROI进行快速可靠的测量。

晶片倾斜校正的均匀性测量

“中途倾斜”自动对焦功能可校正任何晶圆弯曲和倾斜，即使是薄层也能产生准确的全晶圆均匀性数据。此函数很快，因为它在映射前仅在五个点确定*佳聚焦高度：在中心和在中心与拐角之间的中间的四个点。

DuoScan从全晶圆到高分辨率缺陷映射™

DuoScan（双扫描）™ 共焦成像技术是一种共焦成像模式




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