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  • 产品名称：HORIBA堀场电容式压力计

  • 产品型号：VG-200S
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场电容式压力计VG-200S



电容式压力计

**压力测量对于包括半导体，FPD, HDD, PV和涂层在内的各种行业的真空工艺是至关重要的。电容式压力计从膜片的变形来确定总压力，当膜片的两侧施加压力差时，膜片发生形变。电容式压力计较于其他方法的优点是:

• 高精度

• 压力输出对气体的依赖较小

• 相对气体的耐腐蚀性

事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.


  • 微型自加热设计
  • **的电极结构带来高性能和高稳定性
  • SUS316L隔膜
  • 可从温度控制 （55，100°C ） 或非加热型选择
  • 一键调零
  • 电源要求+/-15VDC 或 24VDC
  • 符合 CE 和 RoHS 标准


Model VG-211S VG-221S
F.S. measurement range 133.32 Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A) 133.32Pa (A) 1.3332kPa (A), 13.332kPa (A), 133.32kPa (A)
Sensor temperature *1 Amb. (25°C) 55℃ / 100°C
Accuracy *2 0.5% R.S. 0.25% R.S. 0.5% R.S. 0.25% R.S.
Resolution 0.03% F.S. 0.01% F.S. 0.03% F.S. 0.01% F.S.
Zero temperature coefficient 0.01% F.S./°C 0.005% F.S./°C 0.005% F.S. /°C 0.0025% F.S. /°C
Span temperature coefficient 0.05% R.S./°C 0.03% R.S./°C 0.03% R.S. /°C 0.02% R.S. /°C
Response time < 60msec
Operating temperatue *3 10-50°C
Wetted materials SUS316L
Pressurization limit 300kPA (A) 350kPa (A) 300kPa (A) 350kPa (A)
Output signal 0-10VDC Load resistance: 10kΩ or more
I/O connector D-Sub 15pin
Power supply voltage +15VDC±5％、0.1A max. -15VDC±5％、0.1A max +15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
24VDC±5%, 2.4W max. 24VDC±5%, 22W max.
warm-up time 15 minutes 60 minutes (55°C temp. control type)
120 minutes (100°C temp. control type)
Open collector output Rated voltage: 30V Rated current: 50mA
Re-Zero input *4 Now-voltage contact input Contact open voltage: 13V Maximum contact current: 1.3mA
Standard fitting *5 KF16, 1/2 inch VCR Female, ICF34, 1/4 inch VCR Female
scrollable

*1 传感器温度显示在铭牌上。订货时请注明传感器温度。
*2 线性，迟滞和重复性都包括在内。(环境温度25℃)
*3 在规定的环境条件下，当产品周围有热源或某些产品紧密放置时，环境温度可能超过规定的环境温度。
*4 零点可调范围±5%。
*5 订货时请注明配件。


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