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  • 产品名称：HORIBA堀场直接液体注入系统

  • 产品型号：VC-1
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场直接液体注入系统VC-1



VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。

HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统：

  • 一种用于流量测量的液体质量流量计
  • 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器
  • 阀门、过滤器、加热器等
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 尺寸紧凑
  • 可安装在各种位置
  • *畅销的 TEOS 汽化系统
  • 结合 SEF 或 LF，可实现数字控制
  • 无需特殊鼓泡罐或汽化罐
  • DeviceNetTM 型产品系列
  • 符合 RoHS 标准

模型

VC-1420型

产生的流量*1（TEOS产生期间）

*大5.0 CCM转换（液相转换）

支持的液体

TEOS，P（OCH3）3，C6F6

温升

*高150°C

产生的压力*1

减压

外部泄漏完整性


1.0x10-8Pa·m3/s

内部泄漏完整性

1.0x10-6Pa·m3/s

浸湿的伙伴

316L不锈钢（抛光表面）

内部加热器容积

交流100V至120V 70W（35Wx2）

使用的温度传感器

K型热电偶（CA）

耐压性

1.0MPa（表压）

标准配件

液体入口：1/8英寸VCR型外螺纹气体出口：1/4英寸VCR式内螺纹


*1根据液体的类型而变化。

*CCM是表示气体流速的符号（25°C、101.3 kPa时的mL/min）。


可滚动的

外形尺寸

VC系列直接注液系统外形尺寸


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