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  • 产品名称：HORIBA堀场数字式质量流量控制器

  • 产品型号：SEC-N100
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场数字式质量流量控制器SEC-N100 

SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet、CC-Link 、PROFIBUS 和 EtherCAT 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 设定点 *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。
*1 不包括 SEC-N17X 系列
点击此处 查看 MFC 对比图。
事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
概要
配置
应用
下载中心
控制范围广，从微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
支持多种通信模式和电源
高精度：+/- 1.0% 设定点 (*1)
1 秒高速响应（*1）
多气体/多量程功能
多气体/多量程系统使用户可以自由更改气体类型或满量程流量。

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