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  • 产品名称：HORIBA堀场压电阀

  • 产品型号：PV
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场压电阀PV 


PV 系列压电阀由带有金属隔膜和金属密封圈的压电阀组成。当与压力传感器或流量传感器和比率控制单元（PCU 系列）结合使用时，可以构建压力控制或流量控制系统。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.



优点：

  • 全金属结构，超洁净
  • 流量范围广：1 CCM - 50 LM
  • 高温型号可选（PV-1000S/2000S）
  • 外部单元压力控制


PV-1000型


流量范围1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM（入口：大气压•出口：真空•N2当量）

流量控制范围2-100%F.S。

阀门类型常开/常闭

输入信号0-5VDC

呼吸时间小于0.5秒。

工作温度0-50°C

*大工作压差。300千帕（a）（*大42磅/平方英寸）

耐压1MPa

泄漏完整性5×10-12Pa•m3（He）

可滚动的




2000年版



流量范围10/20 LM

流量控制范围2-100%F.S。

阀门类型常开/常闭

输入信号0-5VDC

呼吸时间小于0.5秒。

工作温度0-50°C

*大工作压差。300千帕（a）（*大42磅/平方英寸）

耐压1MPa

泄漏完整性5×10-12Pa•m3（He）

可滚动的


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