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产品详情
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  • 产品名称：HORIBA堀场晶圆背面冷却系统

  • 产品型号：GR-300
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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详情介绍：

HORIBA堀场晶圆背面冷却系统GR-300



晶圆背面冷却系统

GR-300 系列可以控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆通过静电卡盘系统固定到位。

GR-300 系列的稳定性和**性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。


事业部: 半导体

产品分类: 流体控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.


  • 压力控制更加稳定和**
  • 质量流量传感器（可选）
  • 兼容各种配件
  • 符合 RoHS 标准

 

应用示例

在以下示例中，GR-300 系列正在控制用于冷却晶圆背面的气体，晶圆通过静电卡盘系统固定。











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