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产品详情
  • 产品名称:METROL美德龙适用型传感器

  • 产品型号:GN-PT5M3A
  • 产品厂商:METROL美德龙
  • 产品价格:0
  • 折扣价格:0
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METROL美德龙 GN-PT5M3A适用型传感器
详情介绍:

METROL美德龙型传感器


10-5Pa
高真空度等级!
仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。
在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中,广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。

代表型号名称 动作形态 电线方向
GN-PT5M3A A : NO 直型
GN-PT5M3B B : NC
GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
GN-PT5M3B-R B : NC


接点构造 接点型
动作形态 A : NO /B:NC
动作点的重复精度 ON⇄OFF均为0.003mm(范围)常温使用时的数值
适用真空度/容许烘焙温度 10-5Pa / 120℃
预行程 无(请用信号的切换点调整传感器的安装位置)
迟滞 0
机械寿命 300万次
行程 1.5mm
接触力 0.5N
接点额定值 DC5V~DC24V 稳态电流10mA以下(冲击电流20mA以下)


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