真空泵 LS120A 湖南中崎科技有限公司

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产品名称：真空泵
产品型号：LS120A
产品厂商：ULVAC爱发科
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ULVAC爱发科 LS120A真空泵 ULVAC爱发科 LS120A真空泵

详情介绍：

ULVAC爱发科 LS120A真空泵

LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过**的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中，您可根据设备的大小、使用条件及用途选择*佳排气容量的泵。

特点

■大气压附近的排气速度*大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下，
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本（*3)
■希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C时
（*2）C规格时
（*3）L规格还可以使用稀释气体。

用途

LS系列有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型，适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说，包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。

其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能，适于水蒸汽和挥发性排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。

规格

型式	（C：C式样）（L：L式样）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
*大排气速度	m3/h	120		380		600		1000
到达压力	Pa	≦0.6		≦0.1
电源电压		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消费电力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷却水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
大水蒸气处理量 3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸气口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排气口		KF40		KF40		KF40		KF40
质量	kg	142		220		242		266
适用规格		CE、cTUVus
标准附属品		电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器
本体选配件		电源电压：200V级或400V级、密封部材质：全氟弹性体(仅用于L型)
外部选配件		MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、 Gas purge

*1：到达压力时
*2：C式样不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用时的*大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏

ULVAC爱发科 LS120A真空泵
ULVAC爱发科 LS120A真空泵
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