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产品详情
  • 产品名称:真空泵

  • 产品型号:MS1200A
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
  • 产品价格:0
  • 折扣价格:0
  • 产品文档:
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ULVAC爱发科 MS1200A真空泵 ULVAC爱发科 MS1200A真空泵
详情介绍:

ULVAC爱发科 MS1200A真空泵

特点

  • 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。
  • 采用ULVAC独特设计的转子轴,实现高性能的排粉。
  • 从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。

用途

  • 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
  • 真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
  • 锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
  • 医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。

规格

型式 MS120A MS600A MS1200A
*大排气速度 *1 m3/h 115 560 980
到达压力 Pa ≦0.6 ≦0.1
电源电压 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消费电力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1
冷却水量 L/min >4.0
Purge gas量 *1 SLM 0~50
*大水蒸气处理量 *1*3 kg/h 1.5
噪音值 *1 dB(A) 61 62 64
吸气口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100
排气口 KF40
质量 *4 kg 139 241 264
适用规格 CE、cTUVus
标准附属品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本体选配件 Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM
外部选配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1:到达压力时
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用时的*大水蒸气处理量
*4:Including a silencer

排气速度曲线

  • MS120A
    ms120a_curve.png
  • MA600A
    ms600a_curve.png
  • MS1200A
    ms1200a_curve.png


尺寸图

ms_size_e2.png
ULVAC爱发科 MS1200A真空泵
ULVAC爱发科 MS1200A真空泵
ULVAC爱发科 MS1200A真空泵
ULVAC爱发科 MS1200A真空泵



















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