美国BROOKS流量控制器GF125CXXC

产品特点：
● 压力瞬变不敏感（PTI）：作为**代多变量、压力瞬变不敏感型产品，能将压力和温度波动导致的过程气体流量变化降至*低，克服传统 MFC 对小进口压力波动反应强烈的局限性，实现稳定性能和可预测精度。
● MultiFlo™技术：一台设备可通过编程支持数千种气体类型和量程组合，无需从气路中移除，且不影响精度；还可将 MFC 全尺度流量范围通常按 3:1 缩小，而不影响精度、调节或泄漏，提供*佳工艺和库存灵活性。
● 超快响应和稳定：响应速度和稳定时间比其他质量流量控制器快 3 倍，稳定时间为 300ms - <700ms。
● 高纯度流路：具有超高纯度流路，4μ 英寸 Ra 表面处理。
● 可靠的阀组件：快速作用的无隔膜阀总成不受压差影响，经超过 700 万个周期测试无故障。
● 长期稳定性：长期零点稳定性好，每年变动小于满量程的 ±0.5%。
● 便捷维护：本地显示屏可显示流量、温度、压力和网络地址，便于供气和隔离阀故障排除；有独立的诊断 / 服务端口，有助于设备安装、监测和故障排除，用户可在不拆除流量控制器的情况下进行故障排查或改变流量条件。
● 多种接口选择：具备多种通信接口，如 DeviceNet™、RS - 485 等。

产品规格：
系列及型号：属于 125 系列，型号为 GF125CXXC。
测量介质：可测量多种气体，如 CO、O₂、H₂ 等（不同配置对应不同气体）。
流量范围：不同配置流量不同，示例有 500sccm、450sccm 等，该系列整体流量范围可达 3sccm - 300slpm。
精度：一般有 ±1% S.P. 等精度规格，重复性 < ±0.15% S.P.。
接口：常见为 DeviceNet（5 针 “M8”）接口，也支持 RS485 等其他接口。
安装方式：表面安装（C - seals），占地面积 1.125"。
电源：+24 VDC。
控制信号输出：模拟电压、串行 / 数字、网络 / 现场总线输出等。


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