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石英振动体类型
下一代清洗技术,实现低损害和高清洁度
2006年,世界上**台石英振动体超声清洗装置投入实际使用。
在这种方法中,通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。
与批量清洗和流水清洗相比,可以减少化学品的使用量,由于只有石英玻璃与液体接触,没有垫片等橡胶材料与液体接触,因此能保持较高的清洁度。
石英振动体有不同的形状,以适应不同的用途,能够根据需要进行有效的清洗,如低损伤清洗、大面积清洗、斜面(边缘表面)和缺口(晶圆边缘表面的缺口)的清洗等。
特长
对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗
■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。
将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上,接触区的化学溶液振动,加速去除表面污染。
■清洁度高,对半导体晶圆的损害*小。
与使用橡胶材料(如垫片)的设备相比,使用石英与化学溶液接触,可以确保清洁,而不会有橡胶溶出。
■震荡器冷却功能通过用气体(如氮气)冷却震荡器,可以实现稳定的连续工作,没有频率波动。
冷却还能确保没有温度的突然变化,从而延长使用寿命。
用途
胶体残留物的**
封边和灰化后的聚合物**
栅电极极清洗
CMP后的清洗
规格
■发振器
类型 | W-357-1MQG-SKC |
振荡模式 | 单频震荡 |
额定输出 | 12W |
标称震荡频率 | 1MHz |
电源输入 |
AC100V~240V 单相50/60Hz 300VA |
外部尺寸 WxDxHmm |
180×250×100 (不包括凸出部分,包括橡胶脚) |
质量 | 2.2kg |
●可变的输出范围:0W到12W(振动体的允许输入:当使用空气吹扫冷却时,连续10W)。
●周围操作环境:温度:15至35℃,湿度:10至85%。
●外部驱动触点额定值:超声波振荡控制(控制侧)触点输入:12 V DC 16 mA min.
报警输出(主单元)触点容量:24 V DC 0.5 A
■附属电缆:电源线(100V为2米/200V为3米),控制线(5米)x4